تماس
Leave Your Message

ML-ETCH: اچینگ ریزساختار و ریزبافت برای سطوح منحنی

در زمینه‌های پیشرفته‌ای مانند نیمه‌رساناها، ابزارهای نوری و دستگاه‌های زیست‌پزشکی، نوآوری محصول در حال پیشروی به سمت مقیاس میکروسکوپی است. یکی از تنگناهای فنی کلیدی برای ارتقاء صنعتی، دستیابی به حکاکی میکروسکوپی سه‌بعدی بدون آسیب، با راندمان بالا و دقت بالا بر روی مواد با نقطه ذوب بالا، سختی بالا و ارزش بالا است. ML-ETCH شرکت مونو این راه‌حل را ارائه می‌دهد.

این دستگاه، فناوری لیزر فمتوثانیه در سطح صنعتی و سیستم‌های کنترل حرکت پیشرفته را که خود توسعه داده است، ادغام می‌کند. این دستگاه با به حداکثر رساندن مزیت پردازش "غیرمخرب"، به طور خاص برای شکل‌دهی ریزساختار و حکاکی دقیق روی سطوح منحنی مسطح و پیچیده طراحی شده است. این دستگاه محدودیت‌های مواد و شکل را از بین می‌برد، طرح‌های پیچیده میکرو را به واقعیت تبدیل می‌کند و به شدت از نوآوری محصول پشتیبانی می‌کند.

❑ شکل‌دهی ریزساختار و حکاکی سطوح منحنی

❑ ریزساختار نامنظم صفحه راهنمای نور

❑ حکاکی با پروب نیمه‌هادی با شکل خاص

❑ تشکیل میکروکانال منحرف‌کننده

❑ پردازش بافت فوق العاده ریز

    ویژگی‌های محصولات

    • منبع لیزر فمتوثانیه قابل تنظیم در سطح صنعتی (2)

      منبع نور قابل تنظیم با لیزر fs صنعتی با کیفیت بالا؛

    • قابلیت‌های شکل‌دهی و کنترل پرتو چندبعدی

      توابع شکل‌دهی و کنترل سه‌بعدی پرتو؛

    • نظارت بر جهت‌یابی پرتو و کیفیت آن در لحظه

      پایه تجهیزات با پایداری مکانیکی و حرارتی عالی؛

    • سکوی پایه با پایداری مکانیکی و حرارتی عالی

      سیستم کنترل چند منظوره با پاسخ دینامیکی بالا؛

    • سیستم کنترل چند منظوره با پاسخ دینامیکی بالا

      ساختار سیستم انتقال مسیر نوری کاملاً آب‌بندی شده؛

    • سیستم انتقال پرتو و مسیر نوری کاملاً آب‌بندی‌شده

      پردازش دقیق سطوح منحنی چند محوره؛

    نکات برجسته محصولات

    تصویر

    شکل‌دهی ریزساختار با دقت زیر میکرون

    سازگار با فلزات (فولاد ضد زنگ، آلیاژهای مس، تنگستن، مولیبدن، آلیاژهای طلا-پلاتین و غیره). امکان شیارزنی در سطح میکرون و حکاکی میکرو روی سطوح منحنی را فراهم می‌کند. بدون ناحیه متاثر از حرارت (HAZ)، بدون پلیسه، بدون لایه‌های ریخته‌گری مجدد. زبری سطح Ra ≤ 0.2μm. به طور گسترده در قالب‌ها، غلتک‌ها، یاتاقان‌ها، آب‌بندها و غیره استفاده می‌شود. سازگاری دسته‌ای قالب‌ها/ابزارهای فرآوری شده ≥ 99.5٪، نیازهای تولید انبوه صنعتی را برآورده می‌کند.
    تصویر

    حذف انتخابی لایه نازک با آسیب حرارتی صفر

    از ویژگی‌های "پردازش سرد" و غیرتماسی لیزر فمتوثانیه بهره می‌برد. لایه‌برداری دقیق لایه نازک را بدون آسیب حرارتی به زیرلایه یا ایجاد برآمدگی در لبه‌ها امکان‌پذیر می‌کند. مناسب برای حذف انتخابی لایه‌های رسانا/دی‌الکتریک روی زیرلایه‌های حساس به حرارت (مانند اجزای پیزوالکتریک، مدارهای انعطاف‌پذیر) و ساخت تراشه‌های میکروفلوئیدیک.
    تصویر

    پردازش ریزبافت عملکردی سطح

    طرح‌های ریزبافت سفارشی. به مواد عملکردهایی می‌دهد: کاهش اصطکاک، آبگریزی/آبدوستی، لمس نرم، ضد تابش خیره‌کننده.
    تصویر

    سازگاری گسترده با مواد مختلف

    مشکل «قلم‌زنی دشوار مواد سخت و مستعد لب‌پریدگی» را حل می‌کند. سازگار با مواد سخت، شکننده/با رسانایی حرارتی بالا (الماس/PCD پلی‌کریستالی، یاقوت کبود، کاربید تنگستن و غیره). به طور گسترده در قطعات نوری، ابزارهای مقاوم در برابر سایش، ماسک‌های نیمه‌رسانا و غیره استفاده می‌شود.

    مشخصات فنی

    منطقه پردازش

    صفحه‌ای: ۴۰۰ میلی‌متر × ۴۰۰ میلی‌متر؛ استریو: ۱۵۰ میلی‌متر × ۱۵۰ میلی‌متر × ۱۰۰ میلی‌متر

    دقت موقعیت‌یابی (X/Y/Z/B/C)

    ≤±1μm/≤±1μm/≤±1μm/≤±5 آرک ثانیه/≤±3 آرک ثانیه

    نوع قطعه کار

    سطح مسطح، منحنی

    حداقل عرض خط

    ۳ میکرومتر

    زبری سطح

    ≤Ra0.2

    دقت ابعادی

    ≤±2μm

    دقت نسبت عمق به قطر

    ≤±0.3μm

    دقت پردازش جامع

    ≤±3μm

    مثال‌های کاربردی

    ۱

    ساختار نیمکره محدب: قطر: 0.23 میلی‌متر، زبری: Sa

    cdc5b701f88230473ec83bfa1ff2418f

    حکاکی لیزری فمتوثانیه با ریزساختار محدب (شیب ۴۵ درجه): دقت ±۲ میکرومتر، زبری: Sa

    حکاکی چرخ دنده مارپیچ سرامیکی MONO

    حکاکی چرخ‌دنده مارپیچ سرامیکی MONO: قابلیت کنترل شیب، دقت تا 0.002 میلی‌متر

    حکاکی حلقه آب‌بندی سرامیکی MONO

    حکاکی حلقه آب‌بندی سرامیکی MONO: عمق حکاکی 20 میکرومتر ± 2 میکرومتر

    چاپ پلیت پد لنز تماسی MONO

    حکاکی ساختار هرمی: عرض بالایی: 40 میکرومتر، عمق: 0.16 میلی‌متر، بدون فروریختگی گوشه

    حکاکی غلتکی مونو رنگین کمانی

    حکاکی شیار کور روی شفت غلتکی فولادی:عمق 55 میکرومتر ± 2 میکرومتر، با غلظت بالا

    حکاکی ساختار میکرونیدل با استفاده از رزین مونو

    ریزساختار محدب حکاکی لیزری فمتوثانیه: عرض ۴۶ میکرومتر، دقت ±۳ میکرومتر

    حکاکی بافت غلتکی مونو

    شیارزنی با لیزر fs با عمق کنترل‌شده روی شفت غلتکی: دقت: ±۲ میکرومتر، زبری: Ra ۰.۲ میکرومتر

    حکاکی شیار فولادی تنگستن مونو

    حکاکی شیار فولادی تنگستن MONO: عمق 52μm

    0102۰۳0405۰۶

    contact us

    Start a Conversation

    Ready to solve your precision challenges? Fill out the form below and our team will respond within 24 hours.

    Contact information

    Address

    F1-F2, Building 4, Jianfa-Xinmei Industrial Park, No. 21 Gongtang Road, Guangming District, Shenzhen, China.

    1647831b1f9f653d5ce88b0294a12170
    yx-contact-bg